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製品の詳細
製品概要：
表面微視的三次元構造測定、表面三次元粗さ非接触測定
検出対象：
精密光学素子、マイクロナノ加工装置、金属機械加工部品
業界向け：
半導体、自動車、太陽光、精密光学などの表面分析に従事する各種科学研究院及び企業
技術パラメータ
技術パラメータ：
1.縦方向の繰り返し測定: 0.5nm（PSIモード）縦方向の解像度：2nm
2.縦方向の測定範囲：15mm
3.高さ測定示度誤差：<3%
4.超高横分解能測定機能搭載（横分解能100nm）
5.豊富な3 D特徴解析ソフトウェアと粗さ解析機能
6.耐震性のあるハードウェア構造とソフトウェアアルゴリズムを用いた設計
測定例
VLSIナノステップ標準ブロックの3次元測定結果 研削加工表面の三次元微細構造測定
オンライン照会
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